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精密运动系统
  精密运动系统广泛应用于光学、天文、精密加工、 航空航天等相关领域。当应用领域需要特殊环境时,需要更为精密的设计,例如应用于电子束相关领域时,运动系统本体需要无磁性干扰;应用于航空航天设备环境模拟实验时,实验中部分模拟环境应在低温-l00 ℃以下,真空度10-5Pa以上。
真空度 优于10-5 Pa
洁净度优于100级
低温低于 -100 ℃
精度最高1 μm,可根据客户要求定制
负载根据客户要求定制
运动维度和行程根据客户要求定制
  • 特殊环境应用:高真空、高低温、重负载、低磁性
  • 运用真空洁净设计、加工和装配工艺
  • 冗余定位与弹性机构等先进设计
  • 小型化、轻量化设计
  • 大气常规环境使用
  • 特殊环境下的工业生产;
  • 光学检测加工;
  • 航空航天、 电子设备、 生物实验等科学研究;

低磁、真空洁净、高负载、长行程六维精密运动系统 
外形尺寸:1200mm × 1000mm × 800mm



真空、低温一维圆弧运动系统 
外形尺寸:1000mm × 600mm × 200mm



高真空、高分辨、高稳定性多维光学运动系统 
外形尺寸:100mm × 60mm × 100mm

 
 
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