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数字面型检测仪
　　数字面型检测仪是一种新型的高精度光学元件检测仪，其基本原理是基于非干涉相位恢复算法测量相位变化，进而实现光学元件、硅片、金属元件的面型检测或光学元件的相位透射率分布测量。这是首次将基于相位调制的波前恢复算法用于光学元件检测。
探测CCD像素尺寸 5.5 μm
光斑采样数4096×4096
工作波长632.8 nm
测量范围λ/10 - 3λ (PV)
测量精度1/10 λ (PV)
测量时间< 20 s （GPU硬件加速）
测量口径Φ50 - Φ100 mm
输出数据格式txt/jpg/tif/bmp…
系统软件工作环境 可提供配套高性能工作站，达到最佳使用效果
工作环境 可用于车间等工程应用环境检测，可定制支撑装置
  • 测量精度高
  • 分辨高
  • 动态测量范围大
  • 硬件结构紧凑，无需参考光
  • 环境稳定性要求低
  • 适用特殊光学元件测量
  • 光学元件及金属元件面型检测
  • 非球面镜与自由曲面镜检测
  • 连续相位板与涡旋相位板检测
  • 光学元件透射率检测
 
 
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