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数字面型检测仪
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数字面型检测仪
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数字面型检测仪是一种新型的高精度光学元件检测仪,其基本原理是基于非干涉相位恢复算法测量相位变化,进而实现光学元件、硅片、金属元件的面型检测或光学元件的相位透射率分布测量。这是首次将基于相位调制的波前恢复算法用于光学元件检测。
技术参数
产品特性
产品应用
图片参考
探测CCD像素尺寸
5.5 μm
光斑采样数
4096×4096
工作波长
632.8 nm
测量范围
λ/10 - 3λ (PV)
测量精度
1/10 λ (PV)
测量时间
< 20 s (GPU硬件加速)
测量口径
Φ50 - Φ100 mm
输出数据格式
txt/jpg/tif/bmp…
系统软件工作环境
可提供配套高性能工作站,达到最佳使用效果
工作环境
可用于车间等工程应用环境检测,可定制支撑装置
测量精度高
分辨高
动态测量范围大
硬件结构紧凑,无需参考光
环境稳定性要求低
适用特殊光学元件测量
光学元件及金属元件面型检测
非球面镜与自由曲面镜检测
连续相位板与涡旋相位板检测
光学元件透射率检测
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