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高精度标准镜
高精度平面镜 / 球面镜
材料熔融石英
直径范围Φ50 - Φ480 mm
面形精度(反射)Φ400 mm,< λ/6 (PV)
Φ300 mm,< λ/10 (PV)
Φ100 mm,平面 < λ/20 (PV),球面 < λ/10 (PV)
粗糙度1 nm (RMS)
  • 精密抛光的表面
  • 可作为参考面,对未知表面进行检测
  • 测量窗口、棱镜、滤色片和反射镜等各种元件的面形精度
  • 干涉仪中的标准平面

 
 
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